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Statek超小超薄型石英晶體諧振器，下面介紹了一種超微型低輪廓at切割石英晶體諧振器的物理和電學(xué)性能及其生產(chǎn)方法的概述。

一，介紹

AT切割石英晶體諧振器在精密頻率控制中已經(jīng)應(yīng)用了60多年，是目前應(yīng)用最廣泛的晶體類型之一。雖然傳統(tǒng)的AT晶體是盤狀的，但對(duì)較小組件的需求導(dǎo)致了微型AT帶的發(fā)展。為了滿足制造商對(duì)更小部件的需求，Statek進(jìn)口晶振公司開發(fā)了一種超微型低輪廓石英晶體，作為其CX-4系列產(chǎn)品的一部分。相比之下，CX-4只需要CX-1的大約三分之一的土地面積和CX-3的大約一半的土地面積。（見表1和圖1。）

生產(chǎn)微型石英晶體的一個(gè)關(guān)鍵因素是能夠產(chǎn)生具有所需的尺寸精度和精確度[1]的諧振器。由于更小的諧振器需要更嚴(yán)格的尺寸公差（例如，為了保持適當(dāng)?shù)膶掗L(zhǎng)比），所以生產(chǎn)像CX-4這樣的超微型諧振器就更加困難了。利用制造石英晶體的光刻工藝和晶片背板，使批量生產(chǎn)超微型石英晶體成為可能。光刻過程提供了所需的精密微加工和尺寸公差，晶片備份器提供了精確的金屬沉積到諧振器的電極，用于最終頻率調(diào)整[2]。